3D光学非接触轮廓粗糙度仪利用白光干涉来测量纳米级至微米级的表面形貌，并且具有业界大视场下的高垂直分辨率。仪器具备多种倍率物镜（1.25倍-100倍），可以表征具有不同表面形状和结构的样品。而且在任何放大倍数下，系统的纵向范围都能够达到亚-埃至毫米级。3D光学非接触轮廓粗糙度仪使测量结果不管在科研还是工业环境中都具有超高的可靠性和可重复性。3D光学非接触轮廓粗糙度仪简洁的操作界面通过对测量和数据获取过程的简化大大提高了系统和人力效率；的可视工作流程工具提供了直观的分析选项。3D光学非接触轮廓粗糙度仪可广泛的应用于：机械，光伏材料，电子材料，航空航天，光学材料和医疗器械等领域。
3D光学非接触轮廓粗糙度仪的倾斜测量头为用户提供了的灵活性，实现快速测量和观察。通过在在显微镜头中结合头部倾斜功能，光学轮廓仪这一技术实现了将观察位置保持在焦平面处，为用户实际使用时带来了很大便利。
准确追踪和使用的简便性对于在不同表面上快速检测是至关重要的，这样在批量测试时速度也大大提高。
3D光学非接触轮廓粗糙度仪的功能：
1)一体化操作的测量与分析软件，操作无须进行切换界面，预先设置好配置参数再进行测量，软件自动统计测量数据并提供数据报表导出功能，即可快速实现批量测量功能。
2)测量中提供自动多区域测量功能、批量测量、自动聚焦、自动调亮度等自动化功能。
3)测量中提供拼接测量功能。
4)分析中提供调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能，其中调整位置包括图像校平、镜像等功能；纠正包括空间滤波、修描、尖峰去噪等功能；滤波包括去除外形、标准滤波、过滤频谱等功能；提取包括提取区域和提取剖面等功能。