3D光学表面轮廓粗糙度仪对各种产品和材料的表面平面度、粗糙度、波面性、面形轮廓、共面性、表面缺陷、研磨情况、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、蚀刻情况、弯曲变形情况等貌特征等进行测量和分析。标准型号的系统要求被测物体尺寸通常不大于150*100mm，更大的尺寸根据要求也可供货。工作台至大承载重量10Kg。
3D光学表面轮廓粗糙度仪可直接测量表面的峰顶-谷底的高度，适用于喷丸喷砂行业、印刷行业、喷涂防腐行业等表面粗糙度需求的行业使用，可测量表面轮廓和凹坑，只需要很小的测量面积。光学式表面粗糙度轮廓形貌仪大扫描速度可达到80mm/秒，每秒2000个数据点，每行可扫描20000个独立的数据点，垂直测量分辨率高可达到5nm，小测量范围0-110μm，大测量范围0-50mm。
3D光学表面轮廓粗糙度仪的操作较为简便，操作人员将工件放置在载物台上，调整载物台使被检测区域移动到物镜下方，调整Z轴高度，直至软件测量窗口出现干涉条纹，调节载物台上水平倾斜旋钮使视场内出现1~2个干涉条纹，点击按钮进行测量，光学物镜开始对器件表面进行扫描，软件实时获取图像并在扫描结束后重建出3D图像，操作者可在软件的分析界面中对图像进行处理，获取器件表面的线、面粗糙度、轮廓等2D、3D数据。
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